4 ECTS credits
110 u studietijd

Aanbieding 1 met studiegidsnummer 4020328FNR voor alle studenten in het 2e semester met een gespecialiseerd master niveau.

Semester
2e semester
Inschrijving onder examencontract
Niet mogelijk
Beoordelingsvoet
Beoordeling (0 tot 20)
2e zittijd mogelijk
Ja
Onderwijstaal
Nederlands
Onder samenwerkingsakkoord
Onder interuniversitair akkoord mbt. opleiding
Faculteit
Faculteit Ingenieurswetenschappen
Verantwoordelijke vakgroep
Elektronica en Informatica
Onderwijsteam
Roger Vounckx (titularis)
Onderdelen en contacturen
18 contacturen Hoorcollege
18 contacturen Werkcolleges, practica en oefeningen
Inhoud

1. Overview of the important technological steps in the manufacturing of micro- and nano-devices.

2. Detailed treatment of such steps:

- Methods to obtain high purity materials.

- Mono crystalline growth

- Doping of crystals

- Manufacturing of substrates

- Electron beam systems and the manufacturing of masks and photolithography

- Dimensioning devices (geometrical factors)

- Oxidation

- Epitaxy techniques (CVD, MBE and MOCVD)

- Surface doping methods: diffusion and ion implantation

- Atomic layer deposition

- Interconnects: metallization, dielectrics deposition for wave guiding, silicidation

- Etching (chemical, physical methods)

- Laser ablation

3. Physics and technology of some basic semiconductor optoelectronic devices:

- detector

-solar cell

- LED (including OLED)

-imaging sensors: CCD and CMOS

4. Practical sessions: Simulation of technological processes (TCAD)

Studiemateriaal
Digitaal cursusmateriaal (Vereist) : Physics of Semiconductor Technologies and Devices, R. Vounckx, Canvas and at the ETRO Department
Handboek (Aanbevolen) : Understanding semiconductor devices, Sima Dimitrjiev, BIB, 9780195131864, 2000
Handboek (Aanbevolen) : An introduction to semiconductor microtechnology, D. V. Morgan and K. Board, 2de, BIB, 9780471924784, 1990
Handboek (Aanbevolen) : Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, Hong Xiao, BIB, 9780130224040, 2001
Handboek (Aanbevolen) : Fundamentals of Semiconductor Fabrication, Gary S. May and Simon S. Sze, John Wiley, 9780471232797, 2004
Handboek (Aanbevolen) : Principles of solar cells, LEDs and diodes, Adrian Kitai, 2de, John Wiley, 9781119451020, 2018
Bijkomende info

N/A

Leerresultaten

Algemene competenties

To have a sound knowledge of the physics of technological processes that are being used to produce electronic, optoelectronic and photonic solid state devices. To acquire a basic knowledge of the physics of semiconductor optoelectronic devices.  To be able to bring together technological steps or processes into a technology to produce a device with certain properties.

Beoordelingsinformatie

De beoordeling bestaat uit volgende opdrachtcategorieën:
Examen Andere bepaalt 100% van het eindcijfer

Binnen de categorie Examen Andere dient men volgende opdrachten af te werken:

  • exam met een wegingsfactor 1 en aldus 100% van het totale eindcijfer.

    Toelichting: 1. Oral exam about the lectures: 2/3 of the total score:
    An oral closed book examination concerning the physics of technology and processing. Attention is not only given to the reproduction of the theoretical content, but also and predominantly to the deeper understanding via e.g. a confrontation with novel techniques, devices and technologies. The student is in principle asked two main questions: one quantitative and one qualitative. Especially the second type allows probing for understanding and feeling. The student is offered to prepare his answers first on paper; then follows the oral examination and a discussion about related topics.


    2.Written report during the lab sessions + oral questioning about the report: 1/3 of the total score:
    A written report about the work performed during the practical sessions, supplemented by an oral examination about the contents of the report.

Aanvullende info mbt evaluatie

N/A

Toegestane onvoldoende
Kijk in het aanvullend OER van je faculteit na of een toegestane onvoldoende mogelijk is voor dit opleidingsonderdeel.

Academische context

Deze aanbieding maakt deel uit van de volgende studieplannen:
Master in de ingenieurswetenschappen: fotonica: Standaard traject